Технолошки решенија за системи за испорака на гас со висока чистота за процеси на полупроводници

Технологијата за цевки со висока чистота е важен дел од системот за снабдување со гас со висока чистота, што е клучна технологија за испорака на потребниот гас со висока чистота до точката на употреба и сè уште го одржува квалификуваниот квалитет; Технологијата за цевки со висока чистота за гас вклучува точен дизајн на системот, избор на фитинзи и додатоци, градежништво и инсталација и тестирање. Во последниве години, сè построгите барања за чистотата и содржината на нечистотии на гасови со висока чистота во производството на производи за микроелектроника претставени со големи интегрирани кола ја направија цевководната технологија на високо-чистота гасови сè повеќе загрижени и потенцирани. Следното е краток преглед на цевководите за гас со висока чистота од изборот на материјалиof Изградба, како и прифаќање и секојдневно управување.

Видови на вообичаени гасови

Класификација на вообичаени гасови во индустријата за електроника：

Вообичаени гасови（Најголемиот гас）: водород (ч₂₎, азот (н₂), кислород (о₂), аргон (а₂), итн.

Специјализирани гасовисе сих₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCl,CF₄ ,NH_3,Pocl_3, Sih2cl₂ Sihcl3,NH_3,  Bcl_{3 ,}Сиф₄ ,Clf₃ ,Ко,C₂F_6, N2o,F_2,HF,HBR SF₆…… итн.

Видовите на специјални гасови генерално можат да се класифицираат како корозивнигас, токсиченгас, запаливгас, запаливогас, инертгаситн. Најчесто користените полупроводнички гасови обично се класифицираат на следниов начин.

(з) корозивни / токсичнигас: Hcl, bf₃, Wf₆, Hbr, sih₂Cl₂, Н.Х.₃, Ph₃, Кл₂, Bcl₃… Итн.

(ii) Запаливостгас: Ч₂, Ч₄, Сих₄, Ph₃, ASH3, SIH₂Cl₂, Б₂H₆, CH2F_2,Ч.₃F, CO… итн.

(iii) Прогорливостгас: О₂, Кл₂, N₂О, НФ₃… Итн.

(iv) инертенгас: N₂, Cf₄, В₂F₆, В₄F_8,Сф₆, Ко₂, Не, Кр, тој… итн.

Многу полупроводнички гасови се штетни за човечкото тело. Особено, некои од овие гасови, како што е SIH₄ спонтано согорување, сè додека истекувањето ќе реагира насилно со кислородот во воздухот и ќе почне да горе; и пепел₃Високо токсично, секое мало истекување може да предизвика ризик од човечки живот, тоа е заради овие очигледни опасности, така што барањата за безбедност на дизајнот на системот се особено големи.

Опсег на примена на гасови  

Како важна основна суровина на модерната индустрија, широко се користат производи за гас, а голем број на вообичаени гасови или специјални гасови се користат во металургија, челик, нафта, хемиска индустрија, машини, електроника, стакло, керамика, градежни материјали, градежништво, преработка на храна, медицина и медицински сектори. Примената на гасот има значајно влијание врз високата технологија на овие полиња особено, и е негов неопходен суров материјален гас или гас со процеси. Само со потребите и унапредувањето на разни нови индустриски сектори и модерната наука и технологија, производите на гасната индустрија можат да се развиваат со скокови и граници во однос на разновидноста, квалитетот и количината.

Апликација за гас во индустријата за микроелектроника и полупроводници

Употребата на гас отсекогаш играло важна улога во процесот на полупроводници, особено процесот на полупроводници е широко користен во разни индустрии, од традиционалниот ULSI, TFT-LCD до тековната микро-електро-механичка (MEMS) индустрија, од кои сите ја користат т.н. процес на полупроводници како процес на производство на производи. Чистотата на гасот има одлучувачко влијание врз перформансите на компонентите и приносите на производот, а безбедноста на снабдувањето со гас е поврзана со здравјето на персоналот и безбедноста на работењето на растенијата.

Значењето на цевководи со висока чистота во транспортот на гас со висока чистота

Во процесот на топење и правење материјал од не'рѓосувачки челик, околу 200гр гас може да се апсорбира по тон. По обработката на не'рѓосувачки челик, не само неговата површинска леплива со разни загадувачи, туку и во нејзините метални решетки, исто така, апсорбира одредена количина на гас. Кога има проток на воздух низ гасоводот, металот го апсорбира овој дел од гасот повторно ќе го внесе протокот на воздух, загадувајќи го чистиот гас. Кога протокот на воздухот во цевката е дисконтинуиран проток, цевката го adsorbs на гасот под притисок, а кога протокот на воздухот ќе престане да минува, гасот што се adsorbed од цевката формира пад на притисок за решавање, а решениот гас влегува и во чистиот гас во цевката како нечистотии. Во исто време, адсорпцијата и резолуцијата се повторуваат, така што металот на внатрешната површина на цевката исто така произведува одредена количина на прав, а овие честички од метална прашина исто така го загадуваат чистиот гас во цевката. Оваа карактеристика на цевката е неопходна за да се обезбеди чистота на транспортираниот гас, што бара не само многу висока мазност на внатрешната површина на цевката, туку и со голема отпорност на абење.

Кога се користи гасот со силни корозивни перформанси, цевките од не'рѓосувачки челик отпорни на корозија мора да се користат за цевки. Во спротивно, цевката ќе произведе дамки на корозија на внатрешната површина како резултат на корозија, а во сериозни случаи, ќе има голема површина на соголување на метали или дури и перфорација, што ќе го загади чистиот гас што треба да се дистрибуира.

Поврзувањето на цевководи и дистрибуција на гас со висока чистота и високо-чистење на големи стапки на проток.

Во принцип, сите се заваруваат, а користените цевки се потребни да немаат промена во организацијата кога се применува заварување. Материјалите со премногу висока содржина на јаглерод подлежат на пропустливост на воздухот на заварените делови при заварување, што го прави взаемното навлегување на гасови во и надвор од цевката и ја уништува чистотата, сувоста и чистотата на пренесениот гас, што резултира во губење на сите наши напори.

Накратко, за гасоводот со висока чистота и специјалниот гасовод за пренос на гас, неопходно е да се користи посебен третман на цевка од не'рѓосувачки челик со висока чистота, за да се направи систем со висока чистота (вклучувајќи цевки, фитинзи, вентили, VMB, VMP) во дистрибуција на гас со висока чистота зафаќа витална мисија.

Општ концепт на чиста технологија за цевководи за пренос и дистрибуција

Високо чисто и чисто гасно пренесување на телото со цевки значи дека постојат одредени барања или контроли за три аспекти на гасот што треба да се транспортира.

Чистота на гас: Содржината на нечистотијата атмосфера во чистотата на ГГАС: Содржината на нечистотии во гасот, обично изразена како процент на чистота на гас, како што е 99.9999%, исто така изразена како волуменски однос на содржината на нечистотијата на атмосферата ППМ, ППБ, ППТ.

Сувост: Количината на влага во трагови во гасот, или количината наречена влажност, обично изразена во однос на точката на роса, како што е точката на атмосферска притисок -70. В.

Чистота: Бројот на честички на загадувачи содржани во гасот, големината на честичките од мм, колку честички/м3 да се изрази, за компресиран воздух, обично изразено во однос на тоа колку mg/m3 на неизбежни цврсти остатоци, што ја покрива содржината на маслото.

Класификација на големината на загадувачите: Загадувачките честички, главно се однесуваат на пробивање на гасоводот, абење, корозија генерирана од метални честички, атмосферските честички од саѓи, како и микроорганизмите, фагите и капките за кондензација на гас што содржат влага, итн.

а) Големи честички - големина на честички над 5μm

б) Честички-Дијаметар на материјал помеѓу 0,1μm-5μm

в) Ултра-микро честички-големина на честички помала од 0,1μm.

За да се подобри примената на оваа технологија, да се биде во можност да се перцептивно разбирање на големината на честичките и единиците за μM, се предвидува збир на специфичен статус на честички за референца

Следното е споредба на специфични честички