Технолошки решенија за системи за испорака на гас со висока чистота за полупроводнички процеси

Технологијата за цевководи за гас со висока чистота е важен дел од системот за снабдување со гас со висока чистота, што е клучната технологија за испорака на потребниот гас со висока чистота до местото на употреба и сè уште го одржува квалификуваниот квалитет;Технологијата за цевки за гас со висока чистота вклучува правилен дизајн на системот, избор на фитинзи и додатоци, конструкција и монтажа и тестирање.Во последниве години, сè построгите барања за содржината на чистота и нечистотија на гасовите со висока чистота во производството на микроелектронички производи претставени со интегрирани кола од големи размери ја направија технологијата на цевки на гасови со висока чистота сè позагрижена и нагласена.Следното е краток преглед на цевките за гас со висока чистота од изборот на материјалиof изградба, како и прифаќање и секојдневно управување.

Видови обични гасови

Класификација на вообичаени гасови во електронската индустрија:

Вообичаени гасови(Рефус гас）: водород (H₂₎, азот (Н₂), кислород (О₂), аргон (А₂), итн.

Специјални гасовисе SiH₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}СИФ₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… итн.

Видовите на специјални гасови генерално може да се класифицираат како корозивнигас, токсичнигас, запаливгас, запаливгас, инертенгас, итн. Најчесто користените полупроводнички гасови генерално се класифицирани на следниов начин.

(i) Корозивно/токсичногас: HCl , BF₃, ВФ₆, HBr , SiH₂Cl₂, НХ₃, PH₃, Кл₂, BCl₃…итн.

(ii) Запаливостгас: Х₂, CH₄, SiH₄, PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, Б₂H₆, CH2F_2,CH₃F, CO… итн.

(iii) запаливостгас: О₂, Кл₂, Н₂О, НФ₃… итн.

(iv) Инертенгас: Н₂, CF₄, Ц₂F₆, Ц₄F_8,СФ₆, СО₂, Не, Кр, Тој... итн.

Многу полупроводнички гасови се штетни за човечкото тело.Особено, некои од овие гасови, како што е SiH₄ спонтано согорување, се додека истекувањето ќе реагира бурно со кислородот во воздухот и ќе почне да гори;и AsH₃високо токсични, секое мало истекување може да предизвика ризик за човечки живот, тоа е поради овие очигледни опасности, така што барањата за безбедност на дизајнот на системот се особено високи.

Опсег на примена на гасови  

Како важна основна суровина на модерната индустрија, производите од гас се широко користени, а голем број обични гасови или специјални гасови се користат во металургијата, челикот, нафтата, хемиската индустрија, машините, електрониката, стаклото, керамиката, градежните материјали, градежништвото. , преработка на храна, медицина и медицински сектори.Примената на гас има значајно влијание врз високата технологија на овие полиња особено, и е негова неопходна суровина гас или процесен гас.Само со потребите и промоцијата на различните нови индустриски сектори и модерната наука и технологија, производите од индустријата за гас може да се развиваат со скокови и граници во однос на разновидноста, квалитетот и квантитетот.

Примена на гас во микроелектрониката и полупроводничката индустрија

Употребата на гас отсекогаш играла важна улога во процесот на полупроводници, особено процесот на полупроводници е широко користен во различни индустрии, од традиционалните ULSI, TFT-LCD до сегашната микро-електро-механичка (MEMS) индустрија, сите кои како процес на производство на производи го користат таканаречениот полупроводнички процес.Чистотата на гасот има одлучувачко влијание врз перформансите на компонентите и приносите на производите, а безбедноста на снабдувањето со гас е поврзана со здравјето на персоналот и безбедноста на работењето на постројката.

Значењето на цевките со висока чистота во транспортот на гас со висока чистота

Во процесот на топење и правење материјал од нерѓосувачки челик, може да се апсорбираат околу 200 g гас по тон.По обработката на нерѓосувачки челик, не само неговата површина леплива со разни загадувачи, туку и во неговата метална решетка, исто така, апсорбира одредена количина на гас.Кога има проток на воздух низ цевководот, металот го апсорбира овој дел од гасот повторно ќе влезе во протокот на воздух, загадувајќи го чистиот гас.Кога протокот на воздух во цевката е дисконтинуиран проток, цевката го адсорбира гасот под притисок, а кога протокот на воздух ќе престане да поминува, гасот што се адсорбира од цевката формира пад на притисокот за да се разреши, а растворениот гас исто така влегува во чистиот гас во цевката како нечистотии.Во исто време, адсорпцијата и резолуцијата се повторуваат, така што металот на внатрешната површина на цевката исто така произведува одредена количина прашок, а честичките од металната прашина исто така го загадуваат чистиот гас внатре во цевката.Оваа карактеристика на цевката е од суштинско значење за да се обезбеди чистота на транспортираниот гас, што бара не само многу висока мазност на внатрешната површина на цевката, туку и висока отпорност на абење.

Кога се користи гас со силни корозивни перформанси, за цевководи мора да се користат цевки од нерѓосувачки челик отпорни на корозија.Во спротивно, цевката ќе создаде корозивни дамки на внатрешната површина поради корозија, а во сериозни случаи, ќе има голема површина на метално соголување или дури и перфорација, што ќе го контаминира чистиот гас што треба да се дистрибуира.

Поврзување на цевководи за пренос и дистрибуција на гас со висока чистота и висока чистота со големи стапки на проток.

Во принцип, сите се заварени, а цевките што се користат треба да немаат промена во организацијата кога се применува заварувањето.Материјалите со превисока содржина на јаглерод подлежат на воздушна пропустливост на заварените делови при заварување, што прави меѓусебна пенетрација на гасовите внатре и надвор од цевката и ја уништува чистотата, сувоста и чистотата на пренесениот гас, што резултира со губење на сите наши напори.

Накратко, за гас со висока чистота и специјален цевковод за пренос на гас, неопходно е да се користи специјален третман на цевки од нерѓосувачки челик со висока чистота, за да се направи цевководен систем со висока чистота (вклучувајќи цевки, фитинзи, вентили, VMB, VMP) во Дистрибуцијата на гас со висока чистота зазема витална мисија.

Општ концепт на чиста технологија за преносни и дистрибутивни цевководи

Високо чист и чист пренос на телото на гас со цевки значи дека постојат одредени барања или контроли за три аспекти на гасот што треба да се транспортира.

Чистота на гасот: Содржината на атмосферата на нечистотија во gGas чистота: содржината на нечистотијата на атмосферата во гасот, обично изразена како процент од чистотата на гасот, како што е 99,9999%, исто така изразена како волуменски однос на содржината на нечистотијата во атмосферата ppm, ppb, ppt.

Сувост: количината на трага влага во гасот или количината наречена влажност, обично изразена во однос на точката на росење, како што е точката на росење со атмосферски притисок -70.В.

Чистота: бројот на загадувачки честички содржани во гасот, големина на честички од μm, колку честички/M3 да се изразат, за компримиран воздух, обично исто така изразени во однос на тоа колку mg/m3 неизбежни цврсти остатоци, што ја покрива содржината на маслото .

Класификација на големината на загадувачот: загадувачките честички, главно се однесуваат на чистење на цевководот, абење, корозија создадена од метални честички, честички од атмосферска саѓи, како и микроорганизми, фаги и капки за кондензација на гас што содржат влага итн., според големината на големината на честичките е поделена на

а) Големи честички – големина на честички над 5μm

б) Честичка – дијаметар на материјалот помеѓу 0,1μm-5μm

в) Ултра-микро честички – големина на честички помала од 0,1μm.

Со цел да се подобри примената на оваа технологија, за да може перцептивно да се разбере големината на честичките и единиците μm, се обезбедува збир на специфичен статус на честички за референца

Следното е споредба на специфични честички