Како што расте пазарот на полупроводници, стандардите за чистота и точност стануваат построги. Еден од утврдувачките фактори во квалитетот на производството на полупроводници е гасовите што се користат во процесот. Овие гасови играат многу улоги во процесот на производство, вклучувајќи:
Контрола на прецизен процес
Превенција на загадување
Подобрување на металуршкиот имот
За ефикасно извршување на овие улоги, системот за снабдување со гас и дистрибуција мора да биде ефикасен. Дизајнот на системите за ракување со гас што се користат во производството на полупроводници мора да бидат поддржани од стабилни компоненти и прилагодени склопови за да се обезбеди сигурно и квалитетно производство на полупроводници.
Гасови што се користат во производството на полупроводници
Процесот на производство на полупроводници бара употреба на различни гасови во различни фази на процесот.
Додека вообичаени гасови како што се азот, водород, аргон и хелиум може да се користат во нивната чиста форма, одредени процеси може да бараат специјализирани мешавини. Силаните или силоксаните, хексафлуориди, халиди и јаглеводороди се неколку од специјализираните гасови што се користат во производството на полупроводници. Многу од овие гасови можат да бидат опасни или многу реактивни, создавајќи предизвици при изборот и дизајнот на компонентите за системите за гас.
Еве неколку примери:
\ Водородот и хелиумот можат лесно да протекуваат од системите за цевки и фитинг заради нивната мала атомска големина и тежина.
\ Силаните се многу запаливи и можат спонтано да согоруваат (автоингит) во воздухот.
\ Азотниот дифлуорид што се користи во фазите на таложење, гравирање и чистење на коморите станува моќен стакленички гасови кога се протекува во околината.
\ Водородниот флуорид (гас за гравирање) е многу корозивен на металните цевки.
\ Триметилгалиум и амонијак може да биде тешко да се справат - малите флуктуации во нивната температура и барањата за притисок можат да влијаат на процесот на таложење.
Контрола на условите на процесот за да се минимизираат негативните ефекти на овие гасови мора да бидат врвен приоритет за време на дизајнот на системот. Подеднакво е важно да се користат компоненти со највисок квалитет, како што се вентилите на дијафрагмата AFK за време на процесот на градење.
Решавање на предизвиците за дизајнирање на системот
Гасовите од полупроводнички одделение се во повеќето случаи на висока чистота и обезбедуваат инертен услови или ги зголемуваат реакциите во различни фази на производниот процес, како што се гасови за еч и таложење. Истекувањето или загадувањето на таквите гасови можат да имаат негативни ефекти. Затоа, клучно е за компонентите на системот да бидат херметички запечатени и отпорни на корозија, како и да имаат мазна завршница на површината (електролитичко полирање) за да се обезбеди дека не постои можност за загадување и дека може да се одржи исклучително високо ниво на чистота.
Покрај тоа, некои од овие гасови можат да се загреат или ладат за да се постигнат посакуваните услови на процесот. Добро изолираните компоненти обезбедуваат контрола на температурата, што е клучно за ефикасно работење на финалниот производ.
Од влезот на изворот до точката на употреба, широкиот опсег на компоненти на АФК ја поддржува ултра-високата чистота, температурата, контролата на притисокот и протокот, потребна во просториите за чистење на полупроводници и вакуумските комори.
Дизајнирани системи со квалитетни компоненти во полупроводнички фабрики
Улогата на квалитетни компоненти и оптимизација на дизајнот е клучна за прецизната контрола и безбедно производство на полупроводници. Користените компоненти треба да бидат стабилни и без протекување за да одговараат на различните услови на процесот што се потребни во различни фази на производство. Висококвалитетните вентили на Афк, фитинзи, регулатори, цевки и запечатувања се карактеризираат со следниве карактеристики:
Ултра-висока чистота
Заптивки без протекување
Изолација контролирана со температурата
Контрола на притисок
Отпорност на корозија
Електролитски третман на полирање
Време на објавување: октомври-09-2023