Ултра-високи чистота гасови се од суштинско значење во текот на синџирот на снабдување со полупроводници. Всушност, за типична FAB, гасови со висока чистота се најголемиот трошок за материјал по самиот силикон. Во пресрет на глобалниот недостаток на чипови, индустријата се шири побрзо од кога било - и побарувачката за високи чистови гасови се зголемува.
Најчесто користени масовни гасови во производството на полупроводници се азот, хелиум, водород и аргон.
NИтроген
Азот сочинува 78% од нашата атмосфера и е исклучително изобилство. Исто така, се случува да биде хемиски инертен и непроводливо. Како резултат, азотот го најде својот пат во голем број индустрии како економичен инертен гас.
Индустријата за полупроводници е главен потрошувач на азот. Современа фабрика за производство на полупроводници се очекува да користи до 50.000 кубни метри азот на час. Во производството на полупроводници, азотот делува како инертен и чистење на гас, заштитувајќи ги чувствителните силиконски нафори од реактивен кислород и влага во воздухот.
Хелиум
Хелиумот е инертен гас. Ова значи дека, како азот, хелиумот е хемиски инертен - но исто така има и дополнителна предност на висока топлинска спроводливост. Ова е особено корисно во производството на полупроводници, овозможувајќи му ефикасно да се спроведува топлината од високо-енергетските процеси и да помогне да се заштитат од термичко оштетување и несаканите хемиски реакции.
Водород
Водородот се користи широко во текот на процесот на производство на електроника, а производството на полупроводници не е исклучок. Особено, водородот се користи за:
Annealing: Силиконските нафора обично се загреваат на високи температури и полека се ладат за да ја поправат (anneal) кристалната структура. Водородот се користи за пренесување на топлината рамномерно на нафтата и за помагање во обновата на кристалната структура.
Епитаксијата: Ултра-висока чистота водород се користи како средство за намалување во епитаксијалното таложење на полупроводнички материјали како што се силикон и германиум.
Депонирање: Водородот може да се доживее во силиконски филмови за да ја направи нивната атомска структура повеќе нарушена, помагајќи да се зголеми отпорноста.
Чистење на плазма: Водородната плазма е особено ефикасна во отстранувањето на загадувањето со калај од изворите на светлина што се користат во УВ -литографијата.
Аргон
Аргон е уште еден благороден гас, така што покажува иста ниска реактивност како азот и хелиум. Сепак, ниската јонизација на Аргон ја прави корисна во апликациите за полупроводници. Поради својата релативна леснотија на јонизација, аргонот најчесто се користи како примарен плазма гас за реакции на еч и таложење во производството на полупроводници. Покрај ова, аргонот се користи и во ексцимерните ласери за УВ литографија.
Зошто чистотата е важна
Обично, напредокот во полупроводничката технологија се постигнати преку скалирање на големината, а новата генерација на полупроводничка технологија се карактеризира со помали големини на карактеристики. Ова дава повеќекратни придобивки: повеќе транзистори во даден волумен, подобрени струи, помала потрошувачка на енергија и побрзо префрлување.
Сепак, како што се намалува критичната големина, уредите за полупроводници стануваат сè пософистицирани. Во свет каде што е важна позицијата на индивидуалните атоми, праговите за толеранција на дефекти се многу тесни. Како резултат, современите процеси на полупроводници бараат процесни гасови со најголема можна чистота.
WOFLY is a high-tech enterprise specializing in gas application system engineering: electronic special gas system, laboratory gas circuit system, industrial centralized gas supply system, bulk gas (liquid) system, high purity gas and special process gas secondary piping system, chemical delivery system, pure water system to provide a full set of engineering and technical services and ancillary products from the technical consulting, overall planning, system design, selecting the equipment, prefabricated components, the installation and construction of Веб -страницата на проектот, целокупното тестирање на системот, одржување и други придружни производи на интегриран начин.
Време на пост: јули-11-2023 година