Употребата на гасови во индустријата за полупроводници датира од раните 1950 -ти до 1960 -тите. За време на процесот на производство на полупроводници, гасовите главно се користат за чистење и заштита на полупроводничките материјали за да се обезбеди нивната чистота и квалитет. Меѓу најчесто користените гасови се азот и водород.
Бидејќи развиваната технологија на полупроводници и процесите на производство продолжија да се подобруваат, побарувачката за гасови се зголеми. Во 1970 г. 1980 година забележа дополнително зголемување на побарувачката за гасови со развој на интегрирани кола и зголемување на побарувачката за нив. Водородот беше широко користен во процесот на производство, вклучително и водородно анелирање и таложење на водородната пареа. И од 1990 година до денес, побарувачката за висока чистота и специфични гасови се зголеми со оглед на тоа што големините на уредот за полупроводници продолжија да се намалуваат и се воведени нови процеси. На пример, примената на екстремна ултравиолетова литографија (ЕУВ) бара употреба на екстремно високи гасови како што се азот и водород.
Полупроводничкиот гас продолжува да се зголемува со развојот на сродни производи управувани од повеќе и повеќе производи, додека гасот исто така припаѓа на изворот на опасност, така што производите што се користат за декомпресија на гас, производи за откривање на гас и спречуваат производи за истекување на гас, се појавија како што се регулатори на притисок, вентили за гас, гасни вентили, мерачи на притисок на гас, откривање на протекување на гас, итн.
Регулатори на притисок: Регулаторите на притисок се уреди што се користат за контрола на притисокот на гасот. Тие обично се состојат од регулаторски вентил и сензор за притисок. Регулаторите на притисок земаат внес на гас под висок притисок и го стабилизираат притисокот на излезниот гас со прилагодување на вентилот за да се исполнат специфичните барања за апликација. Регулаторите на притисок се користат во области како што се индустријата, производството и лабораториите, како и во индустријата за полупроводници, меѓу другите, за да се обезбеди стабилност и безбедност на снабдувањето со гас.
Вентили за гас: Вентилите за гас се користат за контрола на протокот на гасови и за затворање на пасуси од гас. Тие обично имаат функција за вклучување/исклучување што го отвора или затвора протокот на гас. Постојат различни видови на гасни вентили, вклучувајќи рачни вентили, електрични вентили и пневматски вентили. Тие се користат во системите за гас за контрола на протокот, притисокот и стапката на проток на гасови.
Мерачи на притисок на гас: Мерачите на притисок на гас се користат за мерење на нивото на притисок на гас. Тие обично се инсталираат на критични локации во системите за гас за да ги следат промените во притисокот и да обезбедат дека се во безбедни граници. Мерачите на притисок на гас се широко користени во индустријата, производството и лабораториите, а исто така е вклучена и полупроводничката индустрија.
Детектори за истекување на гас: Детекторите за истекување на гас се користат за откривање на протекување во системите за гас. Тие откриваатПрисуството на протекување на гас и звучи аларм за да може да се преземе навремено дејство за да се спречат несреќи со истекување. Детекторите за истекување на гас се широко користени во индустриските, хемиските, нафтените и гасните апликации, а исто така е вклучена и полупроводничката индустрија.
Време на објавување: февруари-20-2024 година