Области на примена за системи за цевки со гас со висока чистота

Проектот вклучува високо-технолошки индустрии, како што се полупроводници, интегрирани кола, дисплеи со рамен панел, оптоелектроника, автомобили, нова енергија, нано, оптички влакна, микроелектроника, петрохемикалии, биомедицина, разни лаборатории, истражувачки институти и стандардно тестирање, итн.

Технологија на гасоводот со висока чистота гас

　　Технологијата за цевки со висока чистота за гас е важен дел од системот за снабдување со висока чистота на гас и е важна технологија за снабдување со високи чистота гасови до потребната точка на снабдување. Т.

　　Видови на општи гасови

　　General gases are categorized in the general gas electronics industry as:General gases, also known as bulk gases:Hydrogen (H2), Nitrogen (N2), Oxygen (O2), Argon (A2) and other special gases (Specialty gases) Mainly Silicon Tetrachloride, Hydrogen Boride, Boron Hexafluoride, Boron Hexafluoride, Boron Хексафлуорид, Борон Хексафлуорид, Борон Хексафлуорид, Борон Хексафлуорид, Борон Хексафлуорид, Борон Хексафлуорид, Борон Хексафлуорид, Борон Хексафлуорид, Борон Хексафлуорид и Борон Хексафлуорид. итн. Видовите специјални гасови обично се категоризираат како корозивни, токсични, запаливи, запаливи амортизирани, инертен и така натаму.

　　Општите полупроводнички гасови се категоризираат на следниов начин

　　(1) Корозивна/токсична: хлороводородна киселина, BF3, WF6, HBR, Silica, NH3, PH3, CL2, Bcl 3, итн.

　　(ii) Flambility3336H2, CH4, SIH4, PH3, ASH3, SIH2CL2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO. И така натаму.

　　(3) Запаливост: O2, Cl2, N2O, NF3… итн.

　　(4) Полупроводнички гасови, како што се благородни гасови: CF4, C2F6, C4F8, CO2, Neon, Krypton, Helium…. Штетно за човечкото тело.

　　Особено, некои гасови, како што е SIH4, имаат својство на спонтано согорување. Откако ќе се појави истекување, ќе реагира насилно со кислородот во воздухот и ќе започне да гори.ash3 е исто така токсичен. Малиот протекување може да му наштети на животот на луѓето. Поради овие очигледни опасности, безбедносните барања за дизајн на системот се особено високи.

　　Електронски специјални системи за цевки за гас