Опремата за третман на гасови со опашка може да се справи со гасови што се користат во процесите на гравирање и процесите на таложење на хемиски пареа во полупроводникот, течниот кристал и сончевата енергетска индустрија, вклучувајќи SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O и така на.
Метод на третман на издувни гасови
Според карактеристиките на третманот со издувен гас, третманот може да се подели на четири типа на третман:
1. Тип на миење на вода (третман на корозивни гасови)
2 Оксидирачки тип (справување со запаливи и токсични гасови)
3. Адсорпција (според видот на материјалот за адсорпција за справување со соодветниот издувен гас).
4.Плазма тип на согорување (може да се третираат сите видови на издувни гасови).
Секој вид третман има свои предности и недостатоци, како и неговиот обем на примена. Кога методот на лекување е миење на вода, опремата е ефтина и едноставна и може да управува само со растворливи во вода гасови; Опсегот на апликација од типот на миење на електрична вода е повисок од оној на видот на миењето на водата, но трошоците за работа се високи; Сувиот вид има добра ефикасност на третманот и не се применува за протокот на гас што е лесно да се затрупа или тече.
Хемикалиите и нивните нуспроизводи што најчесто се користат во индустријата за полупроводници можат да се категоризираат според нивните хемиски својства и нивните различни опсези:
1. запаливи гасови како што се SIH4H2, итн.
2. Токсични гасови како што се ASH3, PH3, итн.
3. Корозивни гасови како што се HF, HCl, итн.
4. Гасови на стаклена градина како што се CF4, NF3, итн.
Бидејќи горенаведените четири гасови се штетни за околината или човечкото тело, мора да ја спречат неговата директна емисија во атмосферата, така што општата фабрика за полупроводници се инсталираат со голем централизиран систем за третман на издувни гасови, но овој систем е само издувен гасови на вода, така што неговата примена е ограничена на долги растворливи водни гасови на вода и не може да се справи со постојано менување и суптилна поделба на издувните гасови. Затоа, неопходно е да се избере и да се совпадне соодветната опрема за третман на издувни гасови според карактеристиките на гас добиени од секој процес со цел да се реши проблемот со издувниот гас на мал начин. Бидејќи работната површина е претежно подалеку од централниот систем за третман на издувни гасови, честопати како резултат на карактеристиките на гас доведуваат до кристализација или акумулација на прашина во гасоводот, што резултира во затнување на гасоводот што доведува до истекување на гас, а во сериозни случаи, дури и да предизвика експлозија, не може да обезбеди безбедноста на работата на персоналот на локацијата. Затоа, во работната површина треба да конфигурира мала опрема за третман на издувни гасови, погодна за карактеристиките на процесот на гас, со цел да се намали застојот на издувниот гас во работната површина, за да се обезбеди безбедност на персоналот.
Време на објавување: август-10-2023 година