на
1 | Макс.работен притисок 20,6 Mpa. |
2 | Макс.работна температура 204℃ (Околина со висока температура до 454℃, во овој момент материјалот за заптивање се заменува со експандиран графит) |
3 | Систем за филтрирање Применливи се загадувачи на честички, гасови, течности. |
4 | Точност на филтерот за синтеруван филтер од металургија од нерѓосувачки челик 2μm~40μm |
5 | Проток на филтер 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.па |
6 | Филтерот може да се смени. |
Карактеристики на производот на Филтер
1 | Широк опсег на примена, опсег на проток од 15 до 300SL / мин. |
2 | Има добра компатибилност со повеќето полупроводнички процесни гасови со висока чистота. |
3 | Капацитетот за филтрирање со 3 наночестички одржува висока ефикасност на проток и ултра мал пад на притисокот. |
4 | 5Rа електрополираната површина може да спречи внатрешно загадување. |
5 | Печете со топол азот по дејонизирана вода за да ги исполните стандардите за процесот на полупроводници. |
6 | Асептична работилница за производство, чистење и пакување средина без прашина од 1000 нивоа. |
7 | Тестирајте за 100% истекување на хелиум. |
Влез | Излез | |
1 | Монтирање на цевка од 1/8 инчи | Монтирање на цевка од 1/8 инчи |
2 | Монтирање на цевка од 1/4 инчи | Монтирање на цевка од 1/4 инчи |
3 | Монтажа за цевки од 3/8 инчи | Монтажа за цевки од 3/8 инчи |
4 | Монтирање на цевка од 1/2 инчи | Монтирање на цевка од 1/2 инчи |
5 | Монтирање на цевка од 6 мм | Монтирање на цевка од 6 мм |
6 | Монтирање на цевка од 8 мм | Монтирање на цевка од 8 мм |
7 | Монтирање на цевка од 10 мм | Монтирање на цевка од 10 мм |
8 | Монтирање на цевка од 12 мм | Монтирање на цевка од 12 мм |
9 | 1/8″ Женски NPT | 1/8″ Женски NPT |
10 | 1/4″ Женски NPT | 1/4″ Женски NPT |
11 | 1/4″ Машки NPT | 1/4″ Машки NPT |
12 | 3/8″ Машки NPT | 3/8″ Машки NPT |
13 | 1/2″ Машки NPT | 1/2″ Машки NPT |
Параметри за изведба на производот на филтерот
1 | Точност на филтрирање | ≥0,0025μm | |
2 | Ефикасност на филтрација | Стапка на отстранување99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Номинален проток | 15 л/мин | |
4 | 60 л/мин | ||
5 | 120 л/мин | ||
6 | 200 л/мин | ||
7 | 300 л/мин | ||
8 | Состав на филтер | филтер елемент | 316 л/тефлонски |
9 | домување | нерѓосувачки челик 316L | |
10 | Работните услови | Максимален влезен притисок | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | Максимален диференцијален притисок | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | Максимална работна температура | 430℃ (инертен гас) | |
13 | Стапка на истекување на хелиум | 1×10-9 atm.cc/сек | |
14 | Површинска завршница | ≤Ra 5μin |